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Investigation of the Surface Reconstruction and Gas Phase Composition during Growth by MOVPE
Die metallorganische Gasphasenepitaxie (metal organic vapor phase epitaxy, MOVPE) hat eine wichtige Rolle als Herstellungsmethode der III-V-Halbleitermaterialien für optoelektronische Anwendungen inne. Dies beinhaltet unter anderem die Herstellung von Telekommunikationslasern, Leuchtdioden, hocheffi...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Beteiligte: | |
| Format: | Dissertation |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Philipps-Universität Marburg
2021
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| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | PDF-Volltext |
| Tags: |
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