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Beiträge zur Chemie flüchtiger Metallverbindungen für die chemische Gasphasenabscheidung: Hydrazin-basierte N-Donor-Liganden und neue Synthesestrategien
Im Rahmen dieser Arbeit wurden flüchtige Verbindungen als potentielle Präkursoren für die Anwendung in Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung zur Abscheidung der Elemente oder der Elementnitride untersucht. Die Verbindungen sollten aufgrund ihrer hohen Flüchtigkeit unzersetzt in die Gasphase...
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| 1. Verfasser: | |
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| Beteiligte: | |
| Format: | Dissertation |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Philipps-Universität Marburg
2018
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| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | PDF-Volltext |
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| Zusammenfassung: | Im Rahmen dieser Arbeit wurden flüchtige Verbindungen als potentielle Präkursoren für die Anwendung in Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung zur Abscheidung der Elemente oder der Elementnitride untersucht. Die Verbindungen sollten aufgrund ihrer hohen Flüchtigkeit unzersetzt in die Gasphase überführbar sein und oberhalb ihrer Verdampfungstemperatur eine möglichst niedrige Zersetzungstemperatur aufweisen. Mithilfe eines geeigneten Ligandendesigns sollten die Eigenschaften der Komplexverbindungen zudem derart gesteuert werden, dass niedrigschmelzende, idealerweise bei Raumtemperatur flüssige Verbindungen bereitgestellt werden können. So wurde eine Vielzahl stickstoffreicher Komplexe auf Basis von tert Butylhydrazin, N-Amino-amidinato- und -guanidinato- sowie N,N'-Dialkyltriazenido-Liganden untersucht. Es zeigte sich ein großer Einfluss der unterschiedlichen Substitution am Ligandenrückgrat auf die thermischen Eigenschaften. Hydrazineinheiten im Rückgrat sollten als Sollbruchstellen für den thermischen Abbau dienen und gleichzeitig Reduktionsäquivalente für die Abscheidung von Metallen bei niedrigen Temperaturen schaffen.
Darüber hinaus wurden in industrienahen, anwendungsbezogenen Forschungen technisch relevante Präkursoren für die chemische Gasphasenabscheidung untersucht. Dabei standen neue Synthesestrategien zur Darstellung von Wolfram(VI)-oxo-alkoxiden und Wolfram(VI)-amido-amiden im Fokus sowie die Übertragung funktioneller Gruppen ausgehend von unterschiedlich substituierten Aluminaten. Durch letztere war es beispielsweise möglich, neben der Übertragung von Dimethylamido-Gruppen auf Refraktärmetallchloride, tert-Butyl- und Hydrid-Gruppen derart zu übertragen, dass die etablierte Phosphorquelle in CVD-Prozessen tert-Butylphosphin über ein industriell attraktives Eintopfverfahren dargestellt werden konnte.
Diese Arbeit kombiniert somit grundlagenbasierte Forschung zur Entwicklung potentieller Präkursoren für die chemische Gasphasenabscheidung mit technologisch relevanter Forschung zu etablierten Präkursoren. |
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| Umfang: | 484 Seiten |
| DOI: | 10.17192/z2019.0045 |