Beiträge zur Chemie flüchtiger Metallverbindungen für die chemische Gasphasenabscheidung: Hydrazin-basierte N-Donor-Liganden und neue Synthesestrategien

Im Rahmen dieser Arbeit wurden flüchtige Verbindungen als potentielle Präkursoren für die Anwendung in Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung zur Abscheidung der Elemente oder der Elementnitride untersucht. Die Verbindungen sollten aufgrund ihrer hohen Flüchtigkeit unzersetzt in die Gasphase...

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Bibliographic Details

Main Author:	Pulz, Susanne Elisa
Contributors:	Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (Thesis advisor)
Format:	Doctoral Thesis
Language:	German
Published:	Philipps-Universität Marburg 2018
Subjects:	Chemie Metallverbindungen etablierte Präkursoren stickstoffreiche Liganden Präkursoren für die chemische Gasphasenabscheidung Synthesestrategien chemische Gasphasenabscheidung Precursor Molecules for Chemical Vapour Deposition Processes Chemistry & allied sciences
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