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Hydrazidoverbindungen des Niobs und Tantals im Kontext der Chemical Vapor Deposition von Refraktärmetallnitriden

Synthese und strukturelle sowie spektroskopische Charakterisierung von Hydrazido(1-)- und Hydrazido(2-)-Verbindungen des Niobs, Tantals, Molybdäns und Wolframs. Hierbei wurden Bis(hydrazido)-magnesiumverbindungen sowie gemischte Halogeno-hydrazido-magnesiumsalze, mono- und disilylierte Derivate des...

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Main Author: Gaess, Daniel
Contributors: Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (Thesis advisor)
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: Philipps-Universität Marburg 2008
Subjects:
Cvd precursor
Destillation
Diffusion barrier
Hydrazidoverbindungen
Diffusionsbarriere
Chemie
Hydrazido compounds
Ausgangsmaterial
Magnesium
Flüchtigkeit
Niob
Tantal
Refractory metal nitrides
Refraktärmetallnitride
CVD-Prekursor
Hydrazinderivate
Nitride
MOCVD-Verfahren
CVD-Verfahren
Chemistry & allied sciences
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