Cover Image

Hydrazidoverbindungen des Niobs und Tantals im Kontext der Chemical Vapor Deposition von Refraktärmetallnitriden

Synthese und strukturelle sowie spektroskopische Charakterisierung von Hydrazido(1-)- und Hydrazido(2-)-Verbindungen des Niobs, Tantals, Molybdäns und Wolframs. Hierbei wurden Bis(hydrazido)-magnesiumverbindungen sowie gemischte Halogeno-hydrazido-magnesiumsalze, mono- und disilylierte Derivate des...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Gaess, Daniel
Contributors: Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (Thesis advisor)
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: Philipps-Universität Marburg 2008
Subjects:
Cvd precursor
Destillation
Diffusion barrier
Hydrazidoverbindungen
Diffusionsbarriere
Chemie
Hydrazido compounds
Ausgangsmaterial
Magnesium
Flüchtigkeit
Niob
Tantal
Refractory metal nitrides
Refraktärmetallnitride
CVD-Prekursor
Hydrazinderivate
Nitride
MOCVD-Verfahren
CVD-Verfahren
Chemistry & allied sciences
Online Access:PDF Full Text
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

PDF Full Text

Holdings details from
Call Number: urn:nbn:de:hebis:04-z2008-01523
Publication Date: 2008-05-23
Date of Acceptance: 2008-04-29
Downloads: 1 (2025), 105 (2024), 83 (2023), 168 (2022), 195 (2021), 175 (2020), 210 (2019), 159 (2018)
License: https://rightsstatements.org/vocab/InC-NC/1.0/
Access URL: https://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2008/0152
https://doi.org/10.17192/z2008.0152

Similar Items