0500 Oau
1100 2006
2050 ##0##urn:nbn:de:hebis:04-z2006-00957
2051 ##0##10.17192/z2006.0095
3000 Petter, Kai
4000 Defekte in epitaktisch gewachsenen Silizium-Schichten (Niedertemperaturepitaxie)
4085 ##0##=s MB=u https://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2006/0095=x H
5050 |530
5584 Physik
5584 Halbleiter / Gitterbaufehler
5584 Defects
5584 Silicon
5584 Epitaxy
5584 Epitaxieschicht
5584 Silicium
opus:1314