Herstellung und elektronische Eigenschaften hydrogenierter amorpher Siliziumfilme, abgeschieden unter extremen Depositionsbedingungen

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Bibliographic Details
Main Author:	Will, Stephan
Format:	Doctoral Thesis
Language:	German
Published:	Philipps-Universität Marburg 2004
Subjects:	Armorpher Halbleiter , Wasserstoff Physik Silicium Dünne Schicht , PECVD-Verfahren Physics
Online Access:	PDF Full Text
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