Ab Initio Modelling of Chemical Vapor and Area‐Selective Atomic Layer Deposition - Developing an Automated Exploration of Surface Reaction Networks

In the present dissertation the surface reactivity of small molecules within the thin film growth by chemical vapor deposition and area-selective atomic layer deposition is studied by density functional theory. In a first part, an approach for an automated exploration of reaction networks is prese...

সম্পূর্ণ বিবরণ

সংরক্ষণ করুন:
গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
প্রধান লেখক: Pieck, Fabian
অন্যান্য লেখক: Tonner-Zech, Ralf (Prof. Dr.) (Thesis advisor)
বিন্যাস: Dissertation
ভাষা:ইংরেজি
প্রকাশিত: Philipps-Universität Marburg 2022
বিষয়গুলি:
অনলাইন ব্যবহার করুন:পিডিএফ এ সম্পূর্ন পাঠ
ট্যাগগুলো: ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!