Structural characterization of antimonide-based metamorphic buffer layers on (001) silicon substrate

Structural characterization of antimonide-based metamorphic buffer layers on (001) silicon substrate

The aim of the present study was the growth of antimony-based buffer layers with the lattice constant of InP on a GaP/Si pseudosubstrate by metal organic vapor phase epitaxy (MOVPE) and their structural investigation by atomic force microscopy (AFM), X-ray diffraction (XRD), and (scanning) transmiss...

Полное описание

Сохранить в:
Библиографические подробности
Главный автор: Ott, Andrea
Другие авторы: Volz, Kerstin (Prof. Dr.) (Научный руководитель)
Формат: Dissertation
Язык:английский
Опубликовано: Philipps-Universität Marburg 2017
Предметы:
Verspannung
Halbleiter
Elektronenmikroskopie
Metamorphes Wachstum
Physik,
GaSb
Lomer dislocations,strain
electron microscopy
metamorphic growth
Ga(AsSb)
Lomer Versetzungen
semiconductor
Physik
Ga(PSb)
Physics
Online-ссылка:PDF-полный текст
Метки: Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!

Схожие документы