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Lösungsprozessierbare Silazanpräkursoren für Gate-Dielektrika
In der heutigen Displayindustrie werden Transistoren verbaut, deren dielektrische Schichten über energieaufwendige Prozesse wie CVD oder thermische Oxidation hergestellt werden. Alternativ zu den energieaufwendigen Prozessen lassen sich dielektrische Schichten auch über wirtschaftlichere Lösungsproz...
Gorde:
| Egile nagusia: | |
|---|---|
| Beste egile batzuk: | |
| Formatua: | Dissertation |
| Hizkuntza: | German |
| Argitaratua: |
Philipps-Universität Marburg
2016
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| Gaiak: | |
| Sarrera elektronikoa: | PDF testu osoa |
| Etiketak: |
Etiketa erantsi
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