Hydrazidoverbindungen des Niobs und Tantals im Kontext der Chemical Vapor Deposition von Refraktärmetallnitriden

Hydrazidoverbindungen des Niobs und Tantals im Kontext der Chemical Vapor Deposition von Refraktärmetallnitriden

Synthese und strukturelle sowie spektroskopische Charakterisierung von Hydrazido(1-)- und Hydrazido(2-)-Verbindungen des Niobs, Tantals, Molybdäns und Wolframs. Hierbei wurden Bis(hydrazido)-magnesiumverbindungen sowie gemischte Halogeno-hydrazido-magnesiumsalze, mono- und disilylierte Derivate des...

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Автор: Gaess, Daniel
Інші автори: Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (Керівник дипломної роботи)
Формат: Dissertation
Мова:німецька
Опубліковано: Philipps-Universität Marburg 2008
Предмети:
Destillation
Diffusionsbarriere
Flüchtigkeit
Chemie
Refraktärmetallnitride
Hydrazido compounds
Hydrazidoverbindungen
Ausgangsmaterial
Magnesium
Niob
Tantal
Diffusion barrier
Cvd precursor
Hydrazinderivate
CVD-Prekursor
Nitride
MOCVD-Verfahren
CVD-Verfahren
Refractory metal nitrides
Chemistry & allied sciences
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Опис
Резюме:Synthese und strukturelle sowie spektroskopische Charakterisierung von Hydrazido(1-)- und Hydrazido(2-)-Verbindungen des Niobs, Tantals, Molybdäns und Wolframs. Hierbei wurden Bis(hydrazido)-magnesiumverbindungen sowie gemischte Halogeno-hydrazido-magnesiumsalze, mono- und disilylierte Derivate des Dimethylhydrazins verwendet, um Hydrazidoliganden in Gruppe V und Gruppe VI Chloride und Imidokomplexe einzuführen. Die erhaltenen Verbindungen sind flüchtig und lassen sich als Prekursoren in der CVD von Refraktärmetallnitriden einsetzen. Einige dieser Verbindungen zeigen eine Liganddynamik, welche NMR-spektroskopisch verfolgt wurde.
Фізичний опис:222 Seiten
DOI:10.17192/z2008.0152

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