Hydrazidoverbindungen des Niobs und Tantals im Kontext der Chemical Vapor Deposition von Refraktärmetallnitriden

Gaess, Daniel

Hydrazidoverbindungen des Niobs und Tantals im Kontext der Chemical Vapor Deposition von Refraktärmetallnitriden

Synthese und strukturelle sowie spektroskopische Charakterisierung von Hydrazido(1-)- und Hydrazido(2-)-Verbindungen des Niobs, Tantals, Molybdäns und Wolframs. Hierbei wurden Bis(hydrazido)-magnesiumverbindungen sowie gemischte Halogeno-hydrazido-magnesiumsalze, mono- und disilylierte Derivate des...

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Библиографические подробности
Главный автор:	Gaess, Daniel
Другие авторы:	Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (Научный руководитель)
Формат:	Dissertation
Язык:	немецкий
Опубликовано:	Philipps-Universität Marburg 2008
Предметы:	Destillation Diffusionsbarriere Flüchtigkeit Chemie Refraktärmetallnitride Hydrazido compounds Hydrazidoverbindungen Ausgangsmaterial Magnesium Niob Tantal Diffusion barrier Cvd precursor Hydrazinderivate CVD-Prekursor Nitride MOCVD-Verfahren CVD-Verfahren Refractory metal nitrides Chemistry & allied sciences
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