Hydrazidoverbindungen des Niobs und Tantals im Kontext der Chemical Vapor Deposition von Refraktärmetallnitriden

Hydrazidoverbindungen des Niobs und Tantals im Kontext der Chemical Vapor Deposition von Refraktärmetallnitriden

Synthese und strukturelle sowie spektroskopische Charakterisierung von Hydrazido(1-)- und Hydrazido(2-)-Verbindungen des Niobs, Tantals, Molybdäns und Wolframs. Hierbei wurden Bis(hydrazido)-magnesiumverbindungen sowie gemischte Halogeno-hydrazido-magnesiumsalze, mono- und disilylierte Derivate des...

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Dades bibliogràfiques
Autor principal: Gaess, Daniel
Altres autors: Sundermeyer, Jörg (Prof. Dr.) (Assessor de tesis)
Format: Dissertation
Idioma:alemany
Publicat: Philipps-Universität Marburg 2008
Matèries:
Destillation
Diffusionsbarriere
Flüchtigkeit
Chemie
Refraktärmetallnitride
Hydrazido compounds
Hydrazidoverbindungen
Ausgangsmaterial
Magnesium
Niob
Tantal
Diffusion barrier
Cvd precursor
Hydrazinderivate
CVD-Prekursor
Nitride
MOCVD-Verfahren
CVD-Verfahren
Refractory metal nitrides
Chemistry & allied sciences
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Signatura: urn:nbn:de:hebis:04-z2008-01523
Data de publicació: 2008-05-23
Datum der Annahme: 2008-04-29
Downloads: 49 (2024), 83 (2023), 168 (2022), 195 (2021), 175 (2020), 210 (2019), 159 (2018)
Lizenz: https://rightsstatements.org/vocab/InC-NC/1.0/
URL d'accés: https://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2008/0152
https://doi.org/10.17192/z2008.0152

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