Laserkristallisiertes polykristallines Silizium - Wasserstoffbindungen und elektronische Eigenschaften
In dieser Arbeit wird laserkristallisiertes polykristallines Silizium (poly-Si) untersucht. Zwei Schwerpunkte stehen im Mittelpunkt der Arbeit: Die Bindungen von Wasserstoff (H), der sich nach der Kristallisation von hydrogenisiertem amorphem Silizium (a-Si:H) noch im Material be...
Tallennettuna:
Päätekijä: | |
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Muut tekijät: | |
Aineistotyyppi: | Dissertation |
Kieli: | saksa |
Julkaistu: |
Philipps-Universität Marburg
2003
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Aiheet: | |
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