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On the mechanisms of hydrogen implantation induced silicon surface layer cleavage
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| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Dissertation |
| 语言: | 英语 |
| 出版: |
Philipps-Universität Marburg
2001
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| 主题: | |
| 在线阅读: | PDF-Volltext |
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因特网
PDF-Volltext| 索引号: |
urn:nbn:de:hebis:04-z2002-04033 |
|---|---|
| Publikationsdatum: |
2003-08-06 |
| Datum der Annahme: |
2001-12-18 |
| Downloads: |
54 (2024), 99 (2023), 117 (2022), 159 (2021), 148 (2020), 370 (2019), 113 (2018) |
| Lizenz: |
https://rightsstatements.org/vocab/InC-NC/1.0/ |
| 访问URL: |
https://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2002/0403 https://doi.org/10.17192/z2002.0403 |