On the mechanisms of hydrogen implantation induced silicon surface layer cleavage
Збережено в:
Автор: | |
---|---|
Формат: | Dissertation |
Мова: | англійська |
Опубліковано: |
Philipps-Universität Marburg
2001
|
Предмети: | |
Онлайн доступ: | PDF-повний текст |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Інтернет
PDF-повний текстШифр: |
urn:nbn:de:hebis:04-z2002-04033 |
---|---|
Дата публікації: |
2003-08-06 |
Datum der Annahme: |
2001-12-18 |
Downloads: |
54 (2024), 99 (2023), 117 (2022), 159 (2021), 148 (2020), 370 (2019), 113 (2018) |
Lizenz: |
https://rightsstatements.org/vocab/InC-NC/1.0/ |
Доступ через URL: |
https://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2002/0403 https://doi.org/10.17192/z2002.0403 |