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On the mechanisms of hydrogen implantation induced silicon surface layer cleavage
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Dissertation |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Philipps-Universität Marburg
2001
|
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Texto Completo em Formato PDF |
| Tags: |
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|
Internet
Texto Completo em Formato PDF| Número de Chamada: |
urn:nbn:de:hebis:04-z2002-04033 |
|---|---|
| Data de Publicação: |
2003-08-06 |
| Datum der Annahme: |
2001-12-18 |
| Downloads: |
54 (2024), 99 (2023), 117 (2022), 159 (2021), 148 (2020), 370 (2019), 113 (2018) |
| Lizenz: |
https://rightsstatements.org/vocab/InC-NC/1.0/ |
| Acessar a URL: |
https://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2002/0403 https://doi.org/10.17192/z2002.0403 |