On the mechanisms of hydrogen implantation induced silicon surface layer cleavage

On the mechanisms of hydrogen implantation induced silicon surface layer cleavage

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Auteur principal: Höchbauer, Tobias
Format: Dissertation
Langue:anglais
Publié: Philipps-Universität Marburg 2001
Sujets:
Chemie
Silicon surface layer cleavage
Chemistry & allied sciences
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Informations d'exemplaires de
Cote: urn:nbn:de:hebis:04-z2002-04033
Date de publication: 2003-08-06
Datum der Annahme: 2001-12-18
Downloads: 54 (2024), 99 (2023), 117 (2022), 159 (2021), 148 (2020), 370 (2019), 113 (2018)
Lizenz: https://rightsstatements.org/vocab/InC-NC/1.0/
URL d'accès: https://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2002/0403
https://doi.org/10.17192/z2002.0403

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