On the mechanisms of hydrogen implantation induced silicon surface layer cleavage
Uloženo v:
Hlavní autor: | |
---|---|
Médium: | Dissertation |
Jazyk: | angličtina |
Vydáno: |
Philipps-Universität Marburg
2001
|
Témata: | |
On-line přístup: | Plný text ve formátu PDF |
Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
|
Internet
Plný text ve formátu PDFSignatura: |
urn:nbn:de:hebis:04-z2002-04033 |
---|---|
Datum vydání: |
2003-08-06 |
Datum der Annahme: |
2001-12-18 |
Downloads: |
55 (2024), 99 (2023), 117 (2022), 159 (2021), 148 (2020), 370 (2019), 113 (2018) |
Lizenz: |
https://rightsstatements.org/vocab/InC-NC/1.0/ |
Přístupová URL adresa: |
https://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2002/0403 https://doi.org/10.17192/z2002.0403 |