On the mechanisms of hydrogen implantation induced silicon surface layer cleavage

Sparad:
Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Höchbauer, Tobias
Materialtyp: Dissertation
Språk:engelska
Publicerad: Philipps-Universität Marburg 2001
Ämnen:
Länkar:PDF-fulltext
Taggar: Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!