Ionenassistierte Magnetron-Sputterdeposition von kristallinen Siliziumschichten für Dünnschichtsolarzellen

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主要作者: Reinig, Peter
其他作者: Fuhs, Prof. Dr. W. (BetreuerIn (Doktorarbeit))
格式: Dissertation
语言:German
出版: Philipps-Universität Marburg 2002
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