Ionenassistierte Magnetron-Sputterdeposition von kristallinen Siliziumschichten für Dünnschichtsolarzellen

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Reinig, Peter
Otros Autores:	Fuhs, Prof. Dr. W. (Orientador)
Formato:	Dissertation
Lenguaje:	alemán
Publicado:	Philipps-Universität Marburg 2002
Materias:	Physik Physics
Acceso en línea:	Texto Completo PDF
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Descripción
DOI:	10.17192/z2002.0273

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