0500 Oau
1100 2010
2050 ##0##urn:nbn:de:hebis:04-ed2010-00084
2051 ##0##10.17192/ed.2010.0008
3000 Klues, Michael
4000 Schichtdickenbestimmung dünner Metallfilme mittels Schwingquarzwaage, Lichtabschwächung und AFM
4085 ##0##=s MB=u https://archiv.ub.uni-marburg.de/ed/2010/0008=x H
5050 |530
5584 Lichtabsorption
5584 Metallschicht
5584 Schwingquarz
5584 plane correction
5584 plane correction
5584 Schichtdicke
5584 Physik
opus:2940