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| Titel: | Ionenassistierte Magnetron-Sputterdeposition von kristallinen Siliziumschichten für Dünnschichtsolarzellen |
| Autor: | Reinig, Peter |
| Weitere Beteiligte: | Fuhs, Prof. Dr. W. |
| Veröffentlicht: | 2002 |
| URI: | https://archiv.ub.uni-marburg.de/diss/z2002/0273 |
| DOI: | https://doi.org/10.17192/z2002.0273 |
| URN: | urn:nbn:de:hebis:04-z2002-02735 |
| DDC: | 530 Physik |
| Titel (trans.): | Ionenassistierte Magnetron-Sputterdeposition von kristallinen Siliziumschichten für Dünnschichtsolarzellen |
| Publikationsdatum: | 2002-01-04 |
| Lizenz: | https://rightsstatements.org/vocab/InC-NC/1.0/ |
| Schlagwörter: |
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